ICS17.040.30

　　CCSJ42

　　纳米几何量标准样板测试方法

　　2024-04-25发布

　　国家市场监督管理总局

　　发布

　　国家标准化管理委员会

　　目次

　　前言………………………Ⅲ

　　1范围………………1

　　2规范性引用文件……………1

　　3术语和定义………………………1

　　4测试方法分类及原理………………………1

　　4.1纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理…………1

　　4.2纳米线宽标准样板测试方法分类及原理…………2

　　4.3纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理……………………2

　　4.4纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理………………3

　　5测试设备……………………5

　　5.1设备选择………………5

　　5.2设备要求……………………5

　　6测试环境……………………6

　　7测试程序…………………………6

　　7.1外观…………………6

　　7.2纳米线间隔标准样板测试………………6

　　7.3纳米线宽标准样板测试…………………6

　　7.4纳米台阶高度标准样板测试……………6

　　7.5纳米膜厚标准样板测试…………………7

　　8测试数据处理……………………7

　　8.1纳米线间隔标准样板测试数据处理…………………7

　　8.2纳米线宽标准样板测试数据处理……………………7

　　8.3纳米台阶高度标准样板测试数据处理…………………7

　　8.4纳米膜厚标准样板测试数据处理………………………7

　　附录A(资料性)标准样板测试记录……………………9

　　参考文献………………………10

　　I

　　前言

　　起草。

　　请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

　　本文件由全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC132)归口。

　　本文件起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、中国航空工业

　　集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、同济大学、天津大学、中国计量科学

　　研究院、广西壮族自治区计量检测研究院、中国测试技术研究院、苏州天准科技股份有限公司。

　　本文件主要起草人：吴爱华、付兴昌、李锁印、许晓青、邹学锋、韩志国、赵琳、张晓东、冯亚南、

　　梁法国、许刚、何宜鲜、朱振宇、李强、万宇、雷李华、傅云霞、曾艳华、管钰晴、邓晓、刘庆纲、张恒、施玉书、

　　苏翼雄、冉庆、曹葵康。